產(chǎn)品介紹：

碳化硅懸臂槳是一種基于反應(yīng)燒結(jié)碳化硅工藝制造的高性能陶瓷結(jié)構(gòu)件，主要用于光伏及半導(dǎo)體晶圓裝載系統(tǒng)。其核心材料為我司自主合成的碳化硅粉料，具有高純度（SiC含量＞99.9990%）、大尺寸（長(zhǎng)度可達(dá)數(shù)米）和復(fù)雜形狀的制造能力，是晶圓熱處理、化學(xué)氣相沉積（CVD）等工藝中硅片承載與輸送的關(guān)鍵部件。遵循行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JB/T 139462020，確保產(chǎn)品在1350℃以下高溫環(huán)境中的穩(wěn)定運(yùn)行。

規(guī)格型號(hào)

可根據(jù)客戶圖紙制作

碳化硅懸臂槳性能特點(diǎn)： 

 1. 環(huán)境適應(yīng)性  

耐高溫：工作溫度可達(dá)1350℃，短期耐受更高溫度，高溫下不變形，適用于LPCVD（低壓化學(xué)氣相沉積）等高溫制程。  

 抗熱震性：熱膨脹系數(shù)低（約4.5×10??/℃），可承受快速升降溫循環(huán)（如急冷急熱工況），延長(zhǎng)設(shè)備維護(hù)周期。  

 2. 機(jī)械性能  

 高承載能力：抗彎強(qiáng)度＞2500MPa，晶圓裝載量顯著高于傳統(tǒng)材料（如石英），提升生產(chǎn)效率。  

 耐磨耐腐蝕：莫氏硬度達(dá)9級(jí)，耐酸堿腐蝕和顆粒沖刷，減少污染物引入，保障硅片純度。  

 3. 輕量化與長(zhǎng)壽命  

 密度低（3.02g/cm3），減輕設(shè)備負(fù)載，使用壽命較金屬或石英材料延長(zhǎng)35倍，降低綜合使用成本。  

 4. 高精度與穩(wěn)定性  

 表面光潔度高，熱穩(wěn)定性優(yōu)異，支持自動(dòng)化機(jī)器人精準(zhǔn)搬運(yùn)，適配半導(dǎo)體晶圓的高精度制程需求。

典型應(yīng)用場(chǎng)景： 

 1. 光伏產(chǎn)業(yè)  

 TOPCon電池生產(chǎn)：在LPCVD、PECVD（等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）等環(huán)節(jié)中，承載硅片完成摻雜與鈍化層沉積。  

 硅片熱處理：用于擴(kuò)散爐中硅片的高溫氧化與退火工藝，提升電池轉(zhuǎn)換效率。  

 2. 半導(dǎo)體制造  

 晶圓加工：在半導(dǎo)體芯片的化學(xué)氣相沉積、刻蝕等工藝中，作為晶圓托架的核心部件，保障制程穩(wěn)定性與良率。  

 3. 新能源材料制備  

 碳化硅單晶生長(zhǎng)：用于高溫長(zhǎng)晶爐中支撐碳化硅晶錠，耐受熔融硅腐蝕環(huán)境。  

 4. 其他工業(yè)領(lǐng)域  

 高溫窯爐：作為耐高溫支架，應(yīng)用于陶瓷燒結(jié)、玻璃熔融等場(chǎng)景。